简历:1988年在浙江大学化工系获学士学位。1988-1994年在哈尔滨工业大学应用化学系工作,1993年获得化学系硕士学位。1996年获南京大学物理系理学博士学位。1996年至今,在南京大学材料系工作,从事科研和教学工作。2000年香港理工大学的访问学者,2005年加州大学伯克利分校访问学者。
主要研究方向:1)信息存储材料与器件;2)原子层沉积原理及其应用;3)化学法制备科学:湿化学法和金属有机气相沉积法以及自聚集制备科学。
过去的主要工作及获得的成果:主持和参与了国家自然科学基金、“973”、教育部、江苏省和与国外公司的合作项目等多项课题。已在国际学术期刊上发表SCI论文130余篇,其中Appl. Phys. Lett. , J. Appl. Phys. Chem. Mater., J. Mater. Chem., J. Phys. Chem. C 35篇。论文被国际同行他引已超过600篇次,获得中国发明专利14项。入选教育部新世纪优秀人才计划和江苏省“333高层次人才培养工程”。2001年香港理工大学访问学者,2005年美国加州大学伯克利分校访问学者。获得国家自然科学二等奖一项,教育部提名国家自然科学奖一等奖一项,中国分析测试协会科学技术奖CAIA一等奖一项。
目前的研究课题及展望:主持国家科技重大专项项目“新型半导体基集成电路用高k栅介质材料、界面结构及其关键制备技术”,重点关注原子层沉积技术在极大规模集成电路和纳米结构与器件中的应用。
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