微加工中心运行管理通知2017-1:暂停开放刻蚀和镀膜设备的预通知(开工时间延至8月)


为满足拟安装刻蚀和镀膜设备的特气需求,微加工中心原定6月底暂停对外开放进行特气系统升级工作。由于招标采购流程耗时超出预期,已采购的刻蚀设备预计10月初到货。为尽量减小对科研工作的影响,微加工中心已与特气安装公司协调,将工程调整到8月开始。我中心决定于8月5日起,利用约40天时间开展改造工程。在此期间我中心的全部刻蚀设备和部分镀膜设备将暂停对外开放,其中光刻、测试设备基本不暂停开放,蒸发、溅射,退火去胶机预计暂停10天,ICP、IBE预计暂停时间同工期。(准确暂停起止时间另行通知)

请各位老师提前做好相应科研安排,对给各位老师科研工作带来的不便,微加工中心全体工作人员表示深深的歉意,感谢各位老师多年来对微加工中心的关心和支持,我们将以本次设备升级改造为契机,为各位老师提供更好的服务。
通知公告